华海清科获得发明专利授权:“一种应用于晶圆加工设备的安全控制系统”

小微 2026年05月16日 阅读:50769

华海清科获得发明专利授权:“一种应用于晶圆加工设备的安全控制系统”
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示华海清科(688120)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种应用于晶圆加工设备的安全控制系统”,专利申请号为CN202211399814.8,授权日为2026年5月15日。

专利摘要:本发明公开了一种应用于晶圆加工设备的安全控制系统,包括安全门开关、控制模块、安全继电器和伺服驱动器,安全门开关与控制模块连接,控制模块与安全继电器连接,安全继电器与伺服驱动器连接,安全门开关输出双路开关信号和锁闭信号至控制模块,控制模块输出锁定解锁命令至安全门开关,控制模块根据所述双路开关信号和锁闭信号输出STO信号至安全继电器,安全继电器输出动作信号至伺服驱动器,伺服驱动器基于其工作状态输出STO反馈信号至控制模块。

今年以来华海清科新获得专利授权32个,较去年同期减少了13.51%。结合公司2025年年报财务数据,2025年公司在研发方面投入了5.37亿元,同比增40.63%。

通过天眼查大数据分析,华海清科股份有限公司共对外投资了11家企业,参与招投标项目262次;财产线索方面有商标信息92条,专利信息809条,著作权信息32条;此外企业还拥有行政许可36个。

数据来源:天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理,由AI算法生成(网信算备310104345710301240019号),不构成投资建议。

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